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  • イオンポンプ洗浄中2020.10.29

    超高真空STM装置のベーキング中にとあるトラブルがあり、その最大の要因がイオンポンプでしたので大洗浄を試みました。イオンポンプを解体して内部のセルを取り出し、メタノールや超純水で超音波洗浄にかけて徹底的に洗浄しました。また、イオンポンプのステンレス容器内面も徹底的に洗浄しました。さらにイオンポンプ単体でベーキングも行い、ポンプの清浄化を徹底的に行いました。

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